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常温高压型POU纯化器

常温高压型POU纯化器

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■产品介绍OVERVIEW

P系列纯化器通过采用催化吸附技术在常温下将气体中杂质进行吸附,POU纯化器可根据客户的不同需求进行定制(包含接头尺寸大小、长短和盘面等)。

01 可返厂再生,每次时间间隔1~2年,设备寿命高达20年以上

02 内置高精度过滤器,0.003 μm

03 可选流量:100~1000LPM

04 可去除H₂O、O₂、Co、CO₂、H₂、NMHC等杂质<1ppb (气源品质≥5N),也可提供酸、碱、难熔化合物的去除

05 适用气体N₂、H₂、O₂、Ar、He、Kr、Ne、Xe 、CDA 、CH₄ 、CO₂ 、Cl₂ 、BF₃、HCl、

GeCl₄、GeH₄、H₂S、H₂Se、HBr、SiHCl₃ 、SO₂等三十多种特气

■ 高压POU选型参数表(常温高压系列)

型号

Model

最大流量

(SLPM)

Max Flow  rate

大工作压力

(Mpa)

Max operation pressure

接口形式

Connection size

长度 OAL

(face to face)

管径

(mm)

OD

EGP100-HP

100

18.0

1/4"MVCR

15.55"±0.03"

60

EGP100-SP

100

24.0

1/4"MVCR

15.63"±0.03"

60

EGP250-HP

250

18.0

1/4"MVCR

19.88"±0.03"

102

EGP250-SP

250

24.0

1/4"MVCR

20.04"±0.03"

102

EGP500-HP

500

18.0

1/2"MVCR

22.95"±0.03"

133

EGP500-SP

500

24.0

1/2"MVCR

23.19"±0.03"

133

EGP1000-HP

1000

18.0

1/2"MVCR

42.09"±0.06"

180

EGP1000-SP

1000

24.0

1/2"MVCR

45.55"±0.06"

180

▶ 备注:表格中仅列出标准型号的指标和配置,更多特殊要求请与工厂联系