EGS33二氧化碳纯化器

•流量范围1-300Nm3/h

•可配置0.003微米过滤器

•出口气体中各杂质含量小于1ppb

•全自动催化再生、连续供气

•可以从惰性气体中去除甲烷

•使用寿命长达20年以上

•316L SS EP纯化罐

•根据客户需求定制各项参数

适 用 气 体 A P P L I C A B L E  G A S

CO₂

型 号 M O D E L

EGS33

工 艺 C R A F T S

CAT+ADS

杂质IMPURITY

OUTLET

ppb

H₂O

<1

O₂

<1

Co

<1

H₂

<1

CH₄

<1

Total Volatile Acids(as SO2)

<0.005

Total Volatile Bases(as NH3)

<0.5

Condensable Organics(HCS>100 amu,as Decane)

<0.15

Non-Condensable Organics(HCS>58 amu,as Toluene)

<1

Refractonies(as HMDSO)

<0.005

PARTICLES

≤1pcs/m³(@0.003μm)

流量范围
  FLOW    RANGE

1-300Nm³h

流量范围Nm³/h

工艺气体

产品工艺

压力范围Bar

参考尺寸mm

1-10

CO₂

2 x CAT + 2 x ADS 自动再生

3.5-10

1200*1200*2050

30-70

CO₂

2 x CAT + 2 x ADS 自动再生

3.5-10

1400*1400*2050

80-300

CO₂

2 x CAT + 2 x ADS 自动再生

3.5-10

1850*2200*2050

•大规模集成电路制造

•光纤预制棒生产

•半导体分立器件制造

•众多半导体工艺设备配套

•大尺寸硅片、衬底、外延片生产

•超高纯气体、混合气体和标准气体生产

•LED、激光器制造

•吹扫气体、载气及零点气体纯化

•平板显示器生产

•大学和研究所等科研机构产品研发

•高效太阳能电池生产

•医药及食品行业