EGS5- H系列纯化器

•流量范围10-300Nm3/h

•可配置0.003微米过滤器

•出口气体中各杂质含量小于1ppb

•全自动再生、连续供气

•可以从惰性气体中去除甲烷

•使用寿命长达20年以上

•316L SS EP纯化罐

•根据客户需求定制各项参数

适用气体APPLICABLE GAS

Ar、He、Kr、Ne、Xe

型号MODEL

EGS5-H

工艺CRAFTS

ADS+GET

杂质IMPURITY

INLET

OUTLET

ppm

ppb

H₂O

<3

<1

O₂

<1.5

<1

Co

<1

<1

CO₂

<1

<1

H₂

<1

<1

N₂

<4

<1

CH₄

<0.5

<1

NMHC

<1

<1

PARTICLES

一

≤1pcs/m³@0.003μm)

    流量范围FLOW RANGE

—

10-300Nm³h

流量范围Nm³/h

工艺气体

产品工艺

压力范围Bar

参考尺寸mm

20-50

Ar、He、Kr、Ne、Xe

2 x ADS 自动再生+1 x Getter

3.5-10

1700*1200*2200

60-100

Ar、He、Kr、Ne、Xe

2 x ADS 自动再生+2 x Getter

3.5-10

1700*1650*2250

150-200

Ar、He、Kr、Ne、Xe

2 x ADS 自动再生+2x Getter

3.5-10

1900*1800*2450

250-300

Ar、He、Kr、Ne、Xe

2 x ADS 自动再生+3 x Getter

3.5-10

2450*1800*2550

•大规模集成电路制造

•光纤预制棒生产

•半导体分立器件制造

•众多半导体工艺设备配套

•大尺寸硅片、衬底、外延片生产

•超高纯气体、混合气体和标准气体生产

•LED、激光器制造

•吹扫气体、载气及零点气体纯化

•平板显示器生产

•大学和研究所等科研机构产品研发

•高效太阳能电池生产

•医药及食品行业