EGS9氮气纯化器

•流量范围10-10000Nm3/h

•可配置0.003微米过滤器

•出口气体中各杂质含量小于1ppb

•全自动催化再生、连续供气

•可以从惰性气体中去除甲烷

•使用寿命长达20年以上

•316L SS EP纯化罐

•根据客户需求定制各项参数

适用气体APPLICABLE GAS

N₂

型号MODEL

EGS9

工艺CRAFTS

CAT+ADS

杂质IMPURITY

INLET

OUTLET

ppm

ppb

H₂O

<5

<1

O₂

<3

<1

co

<1

<1

CO₂

<1

<1

H₂

<2

<1

CH₄

<0.5

<1

NMHC

<1

<1

PARTICLES

—

≤1pcs/m³(@0.003μm)

流量范围
FLOW RANGE

—

10-20000Nm³h

流量范围Nm³/h

工艺气体

产品工艺

压力范围Bar

参考尺寸mm

10-70

N₂

1 x CAT + 2 x ADS 自动再生

3.5-10

1200*1200*1900

80-150

N₂

1 x CAT + 2 x ADS 自动再生

3.5-10

1450*1450*2050

200-300

N₂

1 x CAT + 2 x ADS 自动再生

3.5-10

1650*2000*2300

400-700

N₂

1 x CAT + 2 x ADS 自动再生

3.5-10

1900*2300*2500

800-1000

N₂

1 x CAT + 2 x ADS 自动再生

3.5-10

2000*2600*2500

1500-2000

N₂

1 x CAT + 2 x ADS 自动再生

3.5-10

4200*2390*2700

2500-3000

N₂

1 x CAT + 2 x ADS 自动再生

3.5-10

4200*2720*2700

3000-4000

N₂

1 x CAT + 2 x ADS 自动再生

3.5-10

5000*2750*2750

5000-6000

N₂

1 x CAT + 2 x ADS 自动再生

3.5-10

6000*2750*2750

7000-10000

N₂

1 x CAT + 2 x ADS 自动再生

3.5-10

9000*2900*2750

•大规模集成电路制造

•光纤预制棒生产

•半导体分立器件制造

•众多半导体工艺设备配套

•大尺寸硅片、衬底、外延片生产

•超高纯气体、混合气体和标准气体生产

•LED、激光器制造

•吹扫气体、载气及零点气体纯化

•平板显示器生产

•大学和研究所等科研机构产品研发

•高效太阳能电池生产

•医药及食品行业