加热型气体纯化器

■ 产品介绍 OVERVIEW

H系列纯化器是通过采用合金加热在高温下工作的小型纯化器，与POU常温型纯化技术不同的是，常温型纯化器多是采用催化吸附技术，其仅依靠其表面吸附，而加热吸气剂合金技术则充分的利用了整个合金的体积容量，H系列加热型纯化器较POU型纯化器去除杂质效率更佳，并且可去除CH₄和N₂, 使用寿命更长。

01设备无须返厂，寿命到期直接更换GETTER，免维护操作，吸气柱寿命3～5年以上（气源品质≥5N）

02 可选流量：0.2~150LPM

03 设置电源、温度、寿命预**等自控功能

04 可去除H₂O、O₂、CO、CO₂、H₂、NMHC、N₂、CH₄等杂质<1ppb （气源品质≥5N），也可提供酸、碱、难熔化合物的去除

05 适用气体N₂、H₂、O₂、Ar、He、Xe、CDA、CO₂、CH₄等

▶ 备注：表格中仅列出标准型号的指标和配置，更多特殊要求请与工厂联系