EGS22 XCDA纯化器

•流量范围1-20000Nm3/h

•可配置0.003微米过滤器

•出口气体中各杂质含量小于10ppt

•全自动再生、连续供气

•使用寿命长达20年以上

•316L SS EP纯化罐

•根据客户需求定制各项参数

适用气体APPLICABLE GAS

XCDA

型 号 M O D E L

EGS22

工 艺 C R A F T S

ADS

杂质IMPURITY

OUTLET

H₂O

<100ppt

CO₂

<100ppt

TOC(as C7H8)

<10ppt

Acids(as   SO₂)

<10ppt

Bases(as  NH₃)

<10ppt

Refractory Compounds(as HMDSO)

<10ppt

PARTICLES

≤1pcs/m³(@0.003μm)

流量范围
FLOW    RANGE

10-20000Nm³h

流量范围Nm³/h

工艺气体

产品工艺

压力范围Bar

参考尺寸mm

1-10

XCDA

2 x ADS 自动再生

3.5-10

1050*515*1600

30-50

XCDA

2 x ADS 自动再生

3.5-10

850*900*2000

60-150

XCDA

2 x ADS 自动再生

3.5-10

1350*1150*2100

200-300

XCDA

2 x ADS 自动再生

3.5-10

1350*1150*2100

400-1000

XCDA

2 x ADS 自动再生

3.5-10

1800*1700*2450

1500-2000

XCDA

2 x ADS 自动再生

3.5-10

2690*2390*2700

2500-3500

XCDA

2 x ADS 自动再生

3.5-10

2650*2650*2650

4000-6000

XCDA

2 x ADS 自动再生

3.5-10

2650*2650*2750

7000-12000

XCDA

3 x ADS 自动再生

3.5-10

2900*4600*2750

12000-20000

XCDA

4 x ADS 自动再生

3.5-10

2900*4600*2750

•大规模集成电路制造

•光纤预制棒生产

•半导体分立器件制造

•众多半导体工艺设备配套

•大尺寸硅片、衬底、外延片生产

•超高纯气体、混合气体和标准气体生产

•LED、激光器制造

•吹扫气体、载气及零点气体纯化

•平板显示器生产

•大学和研究所等科研机构产品研发

•高效太阳能电池生产

•医药及食品行业