■产品介绍OVERVIEW
P系列纯化器通过采用催化吸附技术在常温下将气体中杂质进行吸附，POU纯化器可根据客户的不同需求进行定制（包含接头尺寸大小、长短和盘面等）。
01 可返厂再生，每次时间间隔1～2年，设备寿命高达20年以上
02 内置高精度过滤器，0.003 μm
03 可选流量：100~1000LPM
04 可去除H₂O、O₂、Co、CO₂、H₂、NMHC等杂质<1ppb （气源品质≥5N），也可提供酸、碱、难熔化合物的去除
05 适用气体N₂、H₂、O₂、Ar、He、Kr、Ne、Xe 、CDA 、CH₄ 、CO₂ 、Cl₂ 、BF₃、HCl、
GeCl₄、GeH₄、H₂S、H₂Se、HBr、SiHCl₃ 、SO₂等三十多种特气
■ 标准POU选型参数表（E系列）
型号 | 最大流量 (SLPM) | 最大工作压力 (Mpa) | 接口形式 | 长度 (face to face) | 管径 (mm) | 型号 |
EGP001 | 1 | 0.5 | 9.66 | 1/4"MVCR | 84(3.31"±.03) | 38.1（1.5"） |
EGP005 | 5 | 4 | 9.66 | 1/4"MVCR | 114(4.49"±.03) | 38.1（1.5"） |
EGP010 | 10 | 5 | 9.66 | 1/4"MVCR | 127(5.00"±.03) | 38.1（1.5"） |
EGP020 | 20 | 7.4 | 6.90 | 1/4"MVCR | 84(3.31"±.03) | 50.8（2.0"） |
EGP020A1 | 20 | 12 | 6.90 | 1/4"MVCR | 157(6.18"±.03) | 50.8（2.0"） |
EGP050 | 50 | 18 | 5.52 | 1/4"MVCR | 208(8.19"±.03) | 50.8（2.0"） |
EGP075 | 75 | 36 | 4.14 | 1/4"MVCR | 201(7.91"±.03) | 76.2（3.0"） |
EGP120 | 120 | 50 | 4.14 | 1/4"MVCR | 254(10.00"±.03) | 76.2（3.0"） |
EGP300 | 300 | 170 | 3.49 | 1/4"MVCR | 439(17.3"±.06) | 101.6（4.0"） |
EGP500 | 500 | 170 | 3.49 | 1/2"MVCR | 445(17.52"±.06) | 101.6（4.0"） |
EGP500A1 | 500 | 200 | 3.49 | 1/2"MVCR | 508(20.00"±.06) | 101.6（4.0"） |
EGP500A2 | 500 | 320 | 3.49 | 1/2"MVCR | 785(30.91"±.06) | 101.6（4.0"） |
EGP1000 | 1000 | 640 | 2.56 | 1/2"MVCR | 737(29.02"±.06) | 152.4（6.0"） |
EGP1000A1 | 1000 | 640 | 2.56 | 3/4"MVCR | 749(29.49"±.06) | 152.4（6.0"） |
EGP2000 | 2000 | 820 | 2.56 | 3/4"MVCR | 892(35.12"±.06) | 152.4（6.0"） |
EGP2000A1 | 2000 | 1020 | 2.56 | 3/4"MVCR | 1085(42.72"±.06) | 152.4（6.0"） |
EGP2000A2 | 2000 | 1260 | 2.56 | 3/4"MVCR | 1290(50.79"±.06) | 152.4（6.0"） |
EGP2500 | 2500 | 820 | 2.56 | 1"MVCR | 899(35.39"±.06) | 152.4（6.0"） |
EGP2500A1 | 2500 | 1020 | 2.56 | 1"MVCR | 1090(42.91"±.06) | 152.4（6.0"） |
EGP2500A2 | 2500 | 1260 | 2.56 | 1"MVCR | 1296(51.02"±.06) | 152.4（6.0"） |
▶ 备注：表格中仅列出标准型号的指标和配置，更多特殊要求请与工厂联系
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