EGS14大流量常温纯化器

•流量范围10-5000Nm3/h

•可配置0.003微米过滤器

•出口气体中各杂质含量小于1ppb

•可返厂或上门再生

•316L SS EP纯化罐

•根据客户需求定制各项参数

适用气体APPLICABLE GAS

N2、H2、Ar、He、O2、CDA

型 号 M O D E L

EGS14-D

EGS14-M

杂质IMPURITY

INLET

OUTLET

ppm

ppb

ppb

H₂O

<3

<1

<1

O₂

<1

一

<1

H₂

<1

一

<1

CO

<1

一

<1

CO₂

<1

<1

<1

NMHC

<1

一

<1

PARTICLES

—

≤1pcs/m³(@0.003μm)

流量范围
FLOW   RANGE

一

10-100Nm³/h

•大规模集成电路制造

•光纤预制棒生产

•半导体分立器件制造

•众多半导体工艺设备配套

•大尺寸硅片、衬底、外延片生产

•超高纯气体、混合气体和标准气体生产

•LED、激光器制造

•吹扫气体、载气及零点气体纯化

•平板显示器生产

•大学和研究所等科研机构产品研发

•高效太阳能电池生产

•医药及食品行业