高压气体纯化器

可选流量范围 100-240 CMH

❖ 产品介绍

玖恩智能EGS8-H(氮)、EGS5-A-H(氦、氖、氩、氪、氙)系列高压吸附自动再生型纯化器，最高工作压力可达到240Bar或更高，采用装填有定制物料的吸附桶在纯化和再生两个模式之间交替工作，实现24H不间断供气，具备完善的报警、联锁、数据记录功能，可实现无人看守自动运行，可自动切换再生，再生是通过纯化后的工艺气体与少量氢气混合进行加热吹扫，纯化模式时吸附桶是在常温下进行工作，再生时的工作温度在 200-250℃之间。反应桶设计按照国家压力容器标准进行极限温度补偿设计，安全可靠。

玖恩智能EGS5-G-H系列稀有气体（氦、氖、氩、氪、氙）、EGS9-G-H(氮)、EGS7-G-H(氢)高压Getter型纯化器是通过采用填装有定制物料的吸气桶(Getter)在高温下工作，最高工作压力可达到240Bar或更高，通过不可逆的化学反应来去除杂质,具备完善的报警、联锁、数据记录功能，可实现无人看守自动运行，纯化模式时吸气桶(Getter)是在高温下进行工作，工作温度在 400℃左右。反应桶设计按照国家压力容器标准进行极限温度补偿设计，安全可靠。

❖ 产品特点

•流量范围100-240Nm3/h	•可配置0.003微米过滤器
•出口气体中各杂质含量小于1ppb	•全自动再生、连续供气
•可以从惰性气体中去除甲烷	•使用寿命长达20年以上
•316L SS EP纯化罐	•根据客户需求定制各项参数

❖ 纯化能力

适用气体APPLICABLE GAS		N₂、H₂、Ar、He、Kr、Ne、Xe
工艺CRAFTS		GET/ADS
杂质IMPURITY	INLET	OUTLET
杂质IMPURITY	ppm	ppb
气体杂质	—	按需定制
PARTICLES	—	≤1pcs/m³(@0.003μm)
流量范围 FLOW RANGE	—	100-240Nm³h

▶ 备注：表格中仅列出标准型号的指标和配置，更多特殊要求请与工厂联系

❖ 产品选型

设备型号	工艺气体	流量范围Nm³/h	压力范围Bar	参考尺寸mm
EGS5-G-50-H	Ar、He、Kr、Ne、Xe	50-100	100-240	8509002000
EGS5-G-100-H	Ar、He、Kr、Ne、Xe	50-100	100-240	115011502000
EGS7-G-50-H	H₂	50-100	100-240	8509002000
EGS7-G-100-H	H₂	50-100	100-240	115011502000
EGS8-50-H	N₂	50-100	100-240	8509002000
EGS8-100-H	N₂	50-100	100-240	115010002100
EGS9-G-50-H	N₂	50-100	100-240	8509002000
EGS9-G-100-H	N₂	50-100	100-240	115011502000

❖ 应用领域

•大规模集成电路制造	•光纤预制棒生产
•半导体分立器件制造	•众多半导体工艺设备配套
•大尺寸硅片、衬底、外延片生产	•超高纯气体、混合气体和标准气体生产
•LED、激光器制造	•吹扫气体、载气及零点气体纯化
•平板显示器生产	•大学和研究所等科研机构产品研发
•高效太阳能电池生产	•医药及食品行业

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可选流量范围 100-240 CMH

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