玖恩智能 |《强国智造》栏目2025年11月26日：《让芯更净》

2025/11/26  星期三 11:34

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2025/11/27  星期四 08:34

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（如频道播出时间有所调整，以频道播出时间为准）

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氯化氢，是半导体制作的“关键特气”，极其微小的杂质就能让晶圆留下致命缺陷。以往氯化氢气体提纯技术被极个别国家攥在手里，成了行业里多年难以破解的难题。倪峰，湖北玖恩智能科技有限公司总工程师。多年前在国外企业时，他总被拦在核心设备调试区外，这份“看得见差距却摸不到关键”的憋屈，让他决心造出中国自己的氯化氢特气提纯设备。

氯化氢气体提纯，关键在于材料的配方及加工。这便需要通过大量实验逐步摸索。那段时间，倪峰实验室的灯光从未熄灭，团队成员的目光也始终定格在检测屏幕上，仓库早已被实验废料堆满。经过三百多次配方调整，检测屏上的杂质值稳定停在了15个ppb以下，所有坚持有了答案。如今湖北玖恩的氯化氢气体纯化设备不仅通过了严苛的稳定性测试，更是进驻了众多国内顶.尖半导体工厂，解决了行业公认的世界性难题，让中国芯片用上“中国造”的超高纯氯化氢特气。这不仅填补了国内空白，更达到了世界水平。

光刻机的使用对气体环境要求是极致的，需要用到超高纯无油压缩空气-XCDA气体，为光刻机的镜头进行保护，同样是玖恩必要突破的难关。XCDA气体是光刻机镜头的“保护神”，12个9的纯度标准，特别是酸、碱等杂质，要达到10个ppt的水平，相当于在一百座标准体育馆里装满白色乒乓球，而这里面只允许存在一个黄色乒乓球。团队把“精”做到极致，就要把吸附材料孔径打磨到头发丝的万分之一，使米粒大小的一颗吸附材料有巨大的内表面积。这样的标准，曾被国外企业筑成密不透风的技术堡垒，连认证的门槛都对国产设备竖起高墙。

解决了光刻机镜头的保护问题，玖恩又将目光投向了“高温考验”。当国内设备还停留在500℃工况下的氢气去甲烷的纯化时，玖恩却已快人一步，做到600℃的极高温去甲烷氢气提纯技术，这不仅是数字上的跨越，更是中国半导体氢气纯化技术达到世界最高难度、最高标准的重要一步。

芯片的制造，同样离不开大宗气体的保护。大流量超高纯度气体设备的品质和稳定，是半导体产业技术升级、芯片产能提升的关键。如今的玖恩，氮气纯化器已凭国内最大单体流量每小时两万立方，品质达到“十个九”的纯度站上世界前沿。这台高稳定性设备，为中国芯片筑起了靠谱的“屏障”。技术攻坚的路上，每攻克一道难关都是向自主可控靠近，这背后始终有产业力量的托举。

从气体纯化的世界难题，到领先世界水平，玖恩的脚步从未停歇。那些在设备上精益求精的调试、为达到标准反复打磨的配方，都藏着“不弃微末”的执着。从打破国外封锁，到领先世界水平的纯度，这份“久久为功”的坚守，始终呼应着“制造一流纯化设备”的初心。未来，玖恩的设备将以全国为基辐射全球，成为推动行业发展的核心力量，引领气体纯化技术迈向新高度，在更多核心领域，续写突破的故事。