EGS7-H系列氢气纯化器

适用气体APPLICABLE GAS

H₂

型号MODEL

EGS7-A

EGS7-G

EGS7-H

工艺CRAFTS

ADS

GET

ADS+GET

杂质IMPURITY

INLET

OUTLET

OUTLET

OUTLET

ppm

ppb

ppb

ppb

H₂O

<5

<1

<1

<1

O₂

<3

<1

<1

<1

Co

<1

<1

<1

<1

CO₂

<1

<1

<1

<1

N₂

<1

一

<1

<1

Ar

<1

一

一

一

CH₄

<0.5

一

<1

<1

NMHC

<1

<1

<1

<1

PARTICLES

一

≤1pcs/m³@0.003μm)

流量范围
FLOW RANGE

一

10-1000Nm³h

10-300Nm³h

  10-300Nm³/h