EGS5- G系列纯化器

适用气体APPLICABLE GAS

Ar、He、Kr、Ne、Xe

型号MODEL

EGS5-A

EGS5-G

EGS5-H

工艺CRAFTS

ADS

GET

ADS+GET

杂质IMPURITY

INLET

OUTLET

OUTLET

OUTLET

ppm

ppb

ppb

ppb

H₂O

<3

<1

<1

<1

O₂

<1.5

<1

<1

<1

Co

<1

<1

<1

<1

CO₂

<1

<1

<1

<1

H₂

<1

<1

<1

<1

N₂

<4

一

<1

<1

CH₄

<0.5

一

<1

<1

NMHC

<1

<1

<1

<1

PARTICLES

一

≤1pcs/m³@0.003μm)

    流量范围FLOW RANGE

—

10-1000Nm³h

10-300Nm³h

  10-300Nm³h