EGS32二氧化碳纯化器

适 用 气 体 A P P L I C A B L E  G A S

CO₂

型 号 M O D E L

EGS32

EGS33

工 艺 C R A F T S

ADS

CAT+ADS

杂质IMPURITY

OUTLET

OUTLET

ppb

ppb

H₂O

<1

<1

O₂

<1

<1

Co

<1

<1

H₂

<1

<1

CH₄

一

<1

Total Volatile Acids(as SO2)

<0.005

<0.005

Total Volatile Bases(as NH3)

<0.5

<0.5

Condensable Organics(HCS>100 amu,as Decane)

<0.15

<0.15

Non-Condensable Organics(HCS>58 amu,as Toluene)

<1

<1

Refractonies(as HMDSO)

<0.005

<0.005

PARTICLES

≤1pcs/m³(@0.003μm)

流量范围
  FLOW    RANGE

10-700Nm³h