超临界二氧化碳纯化器

  适 用 气 体 A P P L I C A B L E  G A S

CO₂

  型 号 M O D E L

EGS32

  工 艺 C R A F T S

ADS

  杂质IMPURITY

OUTLET

ppb

  H₂O

<1

  Total Volatile Acids(as SO2)

<0.1

  NO

<0.1

  NO2

<0.1

  SO2

<0.005

  Total Volatile Bases(as NH3)

<1

NH3

<0.5

Non Volatile Hydrocarbons NVHC (as Toluene)

<0.01

  PARTICLES

≤1pcs/m³(@0.003μm)

  流量范围
  FLOW    RANGE

10-700Nm³h