EGS8氮气纯化器

• 流量范围10-50000Nm3/h

• 可配置0.003微米过滤器

• 出口气体中各杂质含量小于1ppb

• 全自动催化再生、连续供气

• 可以从惰性气体中去除甲烷

• 使用寿命长达20年以上

• 316L SS EP纯化罐

• 根据客户需求定制各项参数

适用气体APPLICABLE GAS

N₂

型 号 M O D E L

EGS8

工艺CRAFTS

ADS

杂质IMPURITY

INLET

OUTLET

ppm

ppb

H₂O

<5

<1

O₂

<3

<1

CO

<1

<1

CO₂

<1

<1

H₂

<2

<1

NMHC

<1

<1

PARTICLES

—

≤1pcs/m³(@0.003μm)

流量范围
FLOW   RANGE

—

10-50000Nm³h

流量范围Nm³/h

工艺气体

产品工艺

压力范围Bar

参考尺寸mm

5-50

N2

2 x ADS 自动再生

3.5-10

850*900*2000

6-70

N2

2 x ADS 自动再生

3.5-10

1000*1150*2100

8-150

N2

2 x ADS 自动再生

3.5-10

1350*1150*2100

10-100

N2

2 x ADS 自动再生

3.5-10

1350*1150*2100

20-300

N2

2 x ADS 自动再生

3.5-10

1350*1150*2100

40-800

N2

2 x ADS 自动再生

3.5-10

1800*1700*2450

100-1000

N2

2 x ADS 自动再生

3.5-10

1800*1700*2450

150-1500

N2

2 x ADS 自动再生

3.5-10

2690*2390*2700

200-2000

N2

2 x ADS 自动再生

3.5-10

2690*2390*2700

250-3500

N2

2 x ADS 自动再生

3.5-10

2650*2650*2650

400-4000

N2

2 x ADS 自动再生

3.5-10

2650*2650*2750

500-5000

N2

2 x ADS 自动再生

3.5-10

2650*2650*2750

600-6000

N2

2 x ADS 自动再生

3.5-10

2650*2650*2750

700-10000

N2

3 x ADS 自动再生

3.5-10

2900*4600*2750

1200-12000

N2

3 x ADS 自动再生

3.5-10

2900*4600*2750

1500-15000

N2

4 x ADS 自动再生

3.5-10

2900*4600*2750

1800-20000

N2

4 x ADS 自动再生

3.5-10

2900*4600*2750

25000-50000

N2

4 x ADS 自动再生

3.5-10

9000*2950*3400

• 大规模集成电路制造

• 光纤预制棒生产

• 半导体分立器件制造

• 众多半导体工艺设备配套

• 大尺寸硅片、衬底、外延片生产

• 超高纯气体、混合气体和标准气体生产

• LED、激光器制造

• 吹扫气体、载气及零点气体纯化

• 平板显示器生产

• 大学和研究所等科研机构产品研发

• 高效太阳能电池生产

• 医药及食品行业